在半导体制造的精密湿法制程中，药液浓度的高精度、高稳定性监测，是保障芯片良率、实现成本管控的核心环节。KURABO仓纺 ChemicAlyzer Ⅱ KCI-02移动式药液浓度计，凭借专为洁净室环境优化的一体化设计、强大的检测性能与高可靠性，为半导体等高规格制造领域提供了专业级的药液浓度监测方案。
一、核心定位与设计理念
ChemicAlyzerⅡ是一款移动式多槽多药液浓度分析仪，区别于传统固定单点在线浓度计，核心定位是主打 “单台覆盖多槽、多药液，灵活移动，免额外辅助设备” 的实用设计理念。解决多槽体、多药液产线的设备冗余、检测滞后、人工误差、高温 / 强腐药液检测难等问题。
设计核心：以 “实用性 + 可靠性 + 适配性” 为导向，集成取样、冷却、检测、数据处理于一体，兼顾便携性与精密检测能力。
二、产品核心参数：一体化集成设计，适配洁净室部署
ChemicAlyzer Ⅱ（型号：KCI-02 [- 特記事項]）是一款大型一体化在线近红外液体浓度计，专为半导体制造工厂洁净室或同等场所设计，采用成熟的近红外透射分光原理，搭载 PC、分光部与采样部一体化配置，为关键制程提供稳定可靠的浓度监测能力。核心规格如下：
装置尺寸：W500 × D500 × H1086mm（不含配管突出部与天面设备）
装置重量：约 80kg
电源规格：AC100V 500W
设置环境：场所为半导体制造工厂洁净室或同等场所，周围温度 20~30℃（无冷凝）
安装方式：立式落地安装，适配洁净室标准布局
装置构成：PC・分光部・采样部一体化集成
测量原理：近红外透射法，搭载专用光学滤镜，支持多波长同步检测
接液材质：耐腐蚀材质，适配半导体制程多种药液
三、核心优势：四大亮点，适配精密制程需求
1. 移动式多槽检测，性价比拉满
单台设备可轮流检测多个槽体、多种药液，无需为每个槽体配置固定在线仪表，大幅降低设备采购成本；脚轮设计灵活移动，适配多站点抽检、跨产线检测，一机多用。
2. 高温 / 强腐适配，工况兼容性强
内置冷却器直接处理高温药液，接液部件采用高纯耐腐蚀材质，可耐受HF、浓酸、浓碱、有机溶剂等严苛药液，覆盖半导体晶圆清洗、蚀刻、电镀，精密电子元件制造，**化工合成等场景。
3. 高精度实时监测，监测制程波动
近红外光学检测精度达 **±0.1%**，响应时间≤20s，可捕捉微量浓度波动；实时数据上传系统，配合 PLC 联动控制，及时调整药液配比，避免浓度异常导致的产品**，保障制程一致性。
4. 低维护高可靠，长期运行无忧
无耗材设计，无需定期更换试剂或易损件；内置自动校准功能，减少人工操作；仓纺自研光学核心，设计寿命超10 年，累计销量超 3000 台，长期运行稳定，降低生命周期成本。
四、应用场景：覆盖半导体高规格湿法制程全环节
1、半导体湿法制程：晶圆清洗（SC-1、SC-2 药液）、蚀刻（HF、BOE、H₂SO₄-H₂O₂混合液）、光刻胶剥离（TMAH）等工序的浓度抽检与验证；
2、精密电子制造：PCB 蚀刻液、电镀液、清洗液的多站点巡检，保障电子元件精度；
3、**化工：精细化工合成、高纯试剂配制、催化剂浓度监测，适配多批次、多规格生产；
4、实验室 / 中试线：新品研发阶段的药液浓度测试、制程参数优化、小批量生产验证。
五、总结
KURABO仓纺 ChemicAlyzer Ⅱ 在线浓度计，以一体化集成设计、高规格硬件配置与洁净室专用优化，为半导体等高规格制造领域提供了专业级的药液浓度监测解决方案。作为日系匠心打造的成熟产品，其强大的检测性能与长期安稳的运行表现，可有效助力企业优化制程管控、提升产品良率、降低生产成本，是半导体湿法制程在线浓度监测的理想选择。
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