MRM SAP9-10-S71716 为日本 MRM SAP 系列二通单作用内螺纹气动隔膜阀，公称通径 DN10，专为半导体、生物医药、精细化工等高洁净、强腐蚀流体管路自动化通断控制开发；全氟塑接液无金属污染，内螺纹直连式结构，紧凑型模块化设计，适配设备狭小安装空间，是高纯药液、超纯水、强腐蚀化学品管路的标准自控截断阀。
一、结构设计与材质配置
阀体接液部位采用PTFE（聚四氟乙烯） 材质，耐酸碱、有机溶剂及高纯药液腐蚀，无析出、无污染，满足洁净管路要求。阀体外框为不锈钢材质，兼顾结构强度与抗环境腐蚀能力。
隔膜：采用多层复合PTFE隔膜，弹性优异、耐疲劳，往复启闭寿命长，密封面贴合紧密，降低渗漏风险。
流道：直通式设计，内壁光滑，不易积留杂质，适配高纯介质与洁净流体输送。
连接：内螺纹接口（Female 螺纹），无需过渡接头，直接匹配标准管路，安装紧凑、抗振动，避免长期使用松动。
驱动：单作用气动执行机构，结构简洁，模块化设计便于维护与更换配件。
二、工作原理与操作特性
采用气源驱动常闭结构（可定制常开），接入 0.4–0.6MPa 标准压缩空气时，执行机构推动隔膜上移，阀门开启；切断气压后，隔膜弹性复位，阀门关闭，实现管路通断控制。
控制：适配远程气动自动化系统，响应迅速，启闭平稳，适合间断启停工艺。
密封：隔膜将介质与执行机构隔离，杜绝介质污染与部件腐蚀，零外漏风险。
抗污：流道无滞留区，可耐受含微量颗粒的腐蚀性介质，适配 CIP 清洗与药液循环场景。
温度：介质适用温度 - 10℃~120℃，可应对多数工业制程温度波动。
三、关键工况技术参数
公称通径：DN10
介质工作压力：兼容0.3～0.6MPa，标准额定 0.5MPa
环境大气温度：0℃～40℃
启闭特性：气动响应迅速，支持自动化时序高频开关控制
连接形式：内螺纹一体式管路接口
适用介质：包括高纯去离子水、蚀刻液、电镀液、制药纯化水、各类酸碱溶液及有机溶剂等
四、产品核心优势
1、超高纯洁净：全氟塑接液、镜面低析出，适配晶圆、生物医药严苛纯度要求，无金属离子污染风险。
2、内螺纹紧凑易安装：省去转接头，缩小设备排布空间，抗振防松，适配半导体清洗机、配液机集成安装。
3、**常闭防护：单作用弹簧复位，气源中断自动切断介质，避免药液泄漏造成产线报废。
4、低维护长寿命：PTFE隔膜抗疲劳，模块化结构，现场更换配件简单，降低产线停机成本。
五、典型应用行业场景
1、半导体：晶圆清洗设备、化学品输送管线、超纯水分配回路。
2、医药：注射用水、无菌药液输送、原料药投料及 CIP 清洗系统。
3、精细化工：腐蚀性溶剂管控、小批量药液循环、反应釜进料 / 排料管线。
4、光伏：硅片清洗、制绒 / 蚀刻药液输送、高纯水处理系统。
5、电子：电路板清洗、化学品供给、超纯水终端控制。
六、安装与维护要点
安装前清理管路，避免硬质颗粒划伤隔膜密封面。
内螺纹连接时均匀拧紧，防止局部应力导致渗漏，可水平或垂直安装。
气动气源需清洁干燥，过滤杂质与水分，避免影响执行机构动作。
定期巡检阀体有无外漏，高频使用工况建议每 3–6 个月检查隔膜磨损状态，及时更换。
严禁超温超压运行，避免接触强氧化性介质，延长阀门使用寿命。
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