核心定位:面向半导体、化工等高洁净 / 强腐蚀工况的高精度、无压损、长寿命液体流量测量方案,采用超声检测卡门涡频率原理,全树脂耐腐结构,适配严苛工业环境。
一、产品核心特性
1、高精度测量:测量精度达±1%读值,量程覆盖10mL/min至80L/min,可同时监测6条独立管线,满足半导体制造、石油化工等场景对微小流量控制的严苛需求。
2、耐腐蚀材料:接液部件采用全氟烷氧基聚合物(PFA)一体成型工艺,分子结构中的全氟碳链赋予其**的耐化学性,可稳定测量化学液体、腐蚀性流体及超纯水。实验数据显示,PFA接液部在260℃高温环境下仍能保持物理性能稳定,消除液体滞留风险,避免交叉污染。
3、抗干扰设计:传感器不受机械噪声(如管道振动)影响,配合双检测技术有效抑制管线振动干扰信号。在强振动环境下(如石油化工场景),测量重复性可保持在0.15%以内。
4、智能化功能
多通道同步测量:U型管状结构配合SFC4000转换器,实现六通道同步测量,适用于槽式清洗机的多槽液供给系统。
模块化适配:外夹式超声波流量计通过可拆卸夹具适配DN15-DN300管径,支持在线安装与热插拔维护,减少设备停机时间。
数据传输与远程监控:转换器可输出频率脉冲、4-20mA模拟信号,并具备RS-485接口,支持Modbus协议,传输距离达1.2km。配合数据采集器,可通过因特网或电话网络实现远程数据传输。
二、应用场景与优势
1、半导体制造
晶圆清洗环节:化学溶液的流量控制精度直接影响芯片良率。该流量计的非接触式测量与高精度特性,可确保清洗液按合适流量输送,避免微小杂质导致芯片性能下降或失效。
维护成本降低:某半导体厂商应用案例显示,采用该流量计后,清洗设备维护周期从每周1次延长至每月1次,年维护成本降低约65%。
2、石油化工
腐蚀性介质计量:适用于腐蚀性液体、高温蒸汽等介质的计量,耐化学性与抗干扰能力可满足复杂工艺流程的需求。
强振动环境稳定性:在振动环境下仍能保持高精度测量,确保工艺一致性。
3、食品医药
高洁净度介质测量:在超纯水、药液等高洁净度介质的测量中,PFA接液部与无密封件设计可避免污染风险,符合行业严格标准。
三、产品型号与规格
型号:FUBB3A-KW-ACA-TX4G
测量范围:10mL/min至80L/min
精度:±1%读值
工作温度:-20℃至260℃(PFA接液部耐温范围)
压力等级:适配管道压力需求(具体参数需结合应用场景确认)
接口类型:支持RS-485、频率脉冲、4-20mA模拟信号输出
防护等级:IP65(适应潮湿、粉尘等恶劣环境)
四、使用注意事项
●请在流量计进口侧安装长度10D以上,出口侧安装长度2D以上的直管,以防止涡流或湍流对精度的影响。
●流量计中规定的流动方向必须与流体的流动相匹配。
●请不要损坏流量计两端的管子。
●请使用指定尺寸的管子进行管道连接。
●安装位置可以是水平、垂直或对角线位置。然而,在管道的任何位置始终充满流体,在两相流(气液)或气泡混合流中将无法测量。
●本流量计具有优良的防振结构。但是,如果有剧烈的振动,请安装支架,否则可能会导致管道的损坏。
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