在半导体镀膜、锂电烧结、惰性气体手套箱、3D打印密闭腔体生产制造领域中,微量氧超标直接造成产品氧化报废、制程良率下滑,精准、长效、便捷的在线氧含量监测已成生产刚需。TORAY东丽LD-450 转换器 + SD 直插传感器分体式氧浓度计,依托成熟氧化锆浓差电池传感技术,实现 ppb 级微量氧至 100% VOL 全量程精准测控,凭借灵活安装、极速响应、超长耐用三大核心优势,成为真空与惰性密闭环境氧含量监测主流选型方案。
一、产品核心技术原理:氧化锆浓差检测,测量基准稳定可靠
LD-450/SD 整套设备采用东丽氧化锆浓差电池测量原理:SD内置高温氧化锆陶瓷传感芯体,升温至工作温度后,氧化锆材质仅允许氧离子单向穿透,传感器被测气侧与大气参比侧因氧分压差值生成对应电信号,LD-450 壁挂转换器采集信号后,自动换算为氧浓度(ppm/VOL%)或氧分压(10⁻²⁰~10⁰atm)数值,4 位数码直观显示数据,从底层原理规避传统电化学传感器电解液干涸、零点漂移通病,可连续在线监测。
整机分为两大独立单元:SD 直插式传感探头(现场测量端)+ LD-450 薄型壁挂转换器(数据处理端),分体模块化架构是该机型区别于一体式氧分析仪的标志性设计。
二、产品核心优势
1、真空免取样:SD 传感器直接拧入腔体 / 真空管路,无需抽气采样泵,杜绝取样误差。
2、分体灵活布局:传感器装高温 / 真空腔体,主机壁挂控制柜,避开高温、高湿恶劣环境。
3、耐用长寿命:传感器表层特殊防腐涂层 + 内置防护结构,耐杂质、惰性气体腐蚀,连续常年在线运行。
4、合规认证:CE、RoHS、EN61010 工业**认证。
三、典型应用场景,覆盖**精密制造领域
1. 半导体 & 光电产业
真空溅射、PVD/CVD 镀膜、晶圆退火炉、OLED 封装腔体在线微量氧监测,管控腔体氧含量至 ppm 级,避免晶圆、镀膜层氧化色斑,提升镀膜良品率;
2. 新能源锂电行业
锂电手套箱、极片烘干炉、注液密封舱惰性氩气 / 氮气保护气氛控氧,严控水氧含量,杜绝锂电池负极氧化胀气、电芯报废;
3. 真空热处理 & 粉末冶金
光亮退火炉、钎焊炉、金属 3D 打印密闭舱保护气监测,精准把控炉膛氧含量,保障工件表面无氧化起皮,提升热处理成品光洁度;
4. 特种焊接 & 高纯气体行业
不锈钢管道氩弧焊保护气、高纯氮气 / 氩气制气终端微量氧检测,实时监控气源纯度,保障特种焊缝致密无气孔;
5. 实验室与科研设备
科研手套箱、密封试验腔体、真空试验台气氛监测,满足高校、院所新材料研发高精度氧环境实验需求。
四、同系列简易选型区分
LD-450/SD:真空直插分体款(本款),腔体法兰安装
LC-450A/D:管道流通式、带气路取样,常压气源检测
LC-860:超高精度 ppb 级微量氧机型
五、结语
从实验室微量科研监测到规模化工业量产在线控氧,TORAY东丽LD-450/SD依托数十年氧化锆传感技术沉淀,以分体易装、全量程精准、低运维、高集成四大核心价值,解决真空密闭环境氧监测安装难、数据飘、寿命短、集成繁四大痛点。在制造业精密化升级浪潮下,是替代老旧取样分析仪、进口高价氧浓度仪表的高性价比优选,持续为各行业制程品质保驾护航。
Email:wh@iwase365.com
电话:027-81622688 传真:027-81620688 地址:湖北省武汉市洪山区滨江万科中心写字楼902室
Email:wh@iwase365.com 网址:http://www.whiwase.com.cn
鄂公网安备 42018502002758号