KAIJO楷捷_98SL型_超声波精密清洗/武汉岩濑供应

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产品名称: KAIJO楷捷_98SL型_超声波精密清洗/武汉岩濑供应
产品型号: 98SL型
产品展商: 日本KAIJO凯捷
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KAIJO楷捷_98SL型_超声波精密清洗/武汉岩濑供应  的详细介绍

KAIJO楷捷_98SL型_超声波精密清洗/武汉岩濑供应
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KAIJO楷捷_98SL型_超声波精密清洗/武汉岩濑供应

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KAIJO楷捷_98SL型_超声波精密清洗/武汉岩濑供应

メガソニック洗浄(ハイメガソニック)

Siウェーハ、GaAs等の洗浄 液晶ガラスの洗浄 ガラスマスクの洗浄
ハードディスクの洗浄 水晶振動子の洗浄 薄膜磁気ヘッドの洗浄
脆性材料等の洗浄 その他超精密洗浄
■特徴

メガソニック洗浄は超精密洗浄に威力を発揮する高周波洗浄機です。
半導体ウエハーや、液晶、HDDなどの超微粒子の除去にお使いいただいております。
高周波(750kHz、950kHz)のメガソニック洗浄は主に加速度で洗浄を行います。
このため、キャビテーションが殆ど発生しません。キャビテーションによるエロジョン(ダメージ)や定在波による洗浄ムラの解決に有効です。
■発振器特徴

●0.1Wパワー設定可能。高い電力安定性を実現。
ダメージレス洗浄対応の精密出力コントロールが容易に!
(200kHz以上に対応)
●4種類の特殊発振モード選択により、従来以上の高精度に精密洗浄が可能
●立上げ時・立下げ時のスピードを設定可能
●QUAVAシリーズはハイメガソニックシリーズとの互換性があり
発振器の入替で洗浄性能UPが可能。
●旧ハイメガ78101型に比べ81%に小型化、重さも17kgと軽量化!
●サイズは19インチラックに収納できる 規格化されたサイズ
●振動子交換時の調整は原則不要(マッチングレス)
●用力はフリー電源方式のため、工場の電源電圧変動などに左右されません
●10種類の周波数に対応しているので、後から振動子を交換することで、
周波数の変更が可能。
対応周波数:26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/
160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz

■発振器スペック

項目 仕様
定格出力 1200W ※
発振周波数 26kHz/38kHz/78kHz/100kHz/130kHz/160kHz/200kHz/430kHz/750kHz/950kHz
(振動子の選択で変更)
発振モード PLL発振/固定発振/Aモード発振/Bモード発振
電源 電流 10A
電圧 AC200V~AC240V(±10% 1Φ 50/60Hz)
外形寸法 430(W) ×418(D) ×148(H)
重量 17Kg
主な機能 リモートモード
8段階出力
RS485通信
異常出力端子
アナログ出力(出力のモニタリング)
0-5V(標準設定) or 4-20mA(出荷時切替可能)
※ 注:26kHz,38kHzの定格出力は600Wになります。 


仕様 ウェーハ6
振動板仕様
ウェーハ8
振動板仕様
ウェーハ12
振動板仕様
型名 7857S型 8857S型 98SL型
許容入力 300Wx4 300Wx6 300Wx16
周波数 950kHz 950kHz 750kHz
振動輻射面(mm) 136x163 165x215 275x319
振動板材質 SU316L SU316L SU316L
振動体 PZT PZT PZT
*高使用温度 70℃ 70℃ 70℃
外形寸法
(WxDxHmm)
185x215x55 255x305x55 410x340x65
取付方法 ボルト固定 ボルト固定 ボルト固定
国内免费咨询专线:4008-933-365
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