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KAIJO楷捷_78BK30-660_超声波精密清洗/岩濑供应代理

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产品名称: KAIJO楷捷_78BK30-660_超声波精密清洗/岩濑供应代理
产品型号: 78BK30-660
产品厂商: 岩濑商事
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简单介绍

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ＵＳシャワー（両面対応）超音波洗浄機

ＬＣＤ・ウェーハ基板の枚葉洗浄
特殊反射方式でレンズシャワー方式に比べ構造がシンプルで洗浄効率が高い
■特徴

●従来のＵＳシャワーに比べ、約５倍の超音波強度（当社比）が得られ洗浄効果が大幅にアップしました。
●枚葉式ＬＣＤ洗浄装置に組込み、裏面洗浄が可能。
●0.2μｍ以下のパーティクルをメガソニックが除去し、超精密洗浄が可能。
●高周波（９５０ｋＨｚ）で被洗浄物へのダメージが極めて少ない。

メガソニックＵＳシャワースペック



項目 仕様
型名 6879BK 7979BK 78BK30-660
許容入力 ６００Ｗ ９００Ｗ １２００Ｗ
公称共振周波数 ９５０ｋＨｚ
有効洗浄寸法 ３３０ｍｍ ４９５ｍｍ ６６０ｍｍ
所用水量 ２０～２５㍑／分 ２０～３０㍑／分 ４０～４５㍑／分
ケース材質 ＳＵＳ３１６Ｌ
振動板材質 ＳＵＳ３１６Ｌ
接液部 複合電解研磨処理
*高使用温度 ７０℃
コード長 振動子用：５Ｍ２本 振動子用：５Ｍ３本 振動子用：５Ｍ４本
センサー用：５Ｍ１本 センサー用：５Ｍ１本 センサー用：５Ｍ２本
保護回路 液面センサー（テフロン）
ＦＵ９３（キーエンス）
重量 ５㎏ ６㎏ ７㎏

＊上記以外の振動子も製作いたします。お気軽にご相談ください。

国内免费咨询专线：4008-933-365
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