YUTAKA CROWN 高压大流量压力调节器LH-SHSK-2W15-2AF2AF-EP
特点：
该L62系列产品专为高压型高流半导体工艺制造气体设计，基本结构为外封金属密封和焊接接头规格，具有优异的外部泄漏性和颗粒性能。该产品流量更高，非常适合气缸柜。
我们L61系列的针状结构类型（面间尺寸相同）。
阀座材料可以根据你使用的气体选择。
产品规格：
适用气体
高纯度气体
进气压力
14.8MPa以下(*大19.6MPa)
调节压力
Max：0.8MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa）
原始压力波动
进气压力：0.1MPa ，调节压力变化0.001MPa
耐压压力
22.2MPa（入口侧）
CV值
0.11
工作温度
-10~+40℃
外部泄漏
1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法）
内部容积
32.3cm（不包括 3 个压力表和配件）
质量
约4.7kg
Email：wh@iwase365.com
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