YUTAKA CROWN 高压大流量压力调节器L62SS-I YUTAKA CROWN 高压大流量压力调节器L62SS-I 特点： 该L62系列产品专为高压型高流半导体工艺制造气体设计，基本结构为外封金属密封和焊接接头规格，具有优异的外部泄漏性和颗粒性能。该产品流量更高，非常适合气缸柜。 我们L61系列的针状结构类型（面间尺寸相同）。 阀座材料可以根据你使用的气体选择。 产品规格： 适用气体 高纯度气体 进气压力 14.8MPa以下(*大19.6MPa) 调节压力 Max：0.8MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa） 原始压力波动 进气压力：0.1MPa ，调节压力变化0.001MPa 耐压压力 22.2MPa（入口侧） CV值 0.11 工作温度 -10~+40℃ 外部泄漏 1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法） 内部容积 32.3cm（不包括 3 个压力表和配件） 质量 约4.7kg
YUTAKA CROWN 高压大流量压力调节器L62SS-I
特点：
该L62系列产品专为高压型高流半导体工艺制造气体设计，基本结构为外封金属密封和焊接接头规格，具有优异的外部泄漏性和颗粒性能。该产品流量更高，非常适合气缸柜。
我们L61系列的针状结构类型（面间尺寸相同）。
阀座材料可以根据你使用的气体选择。
产品规格：
适用气体
高纯度气体
进气压力
14.8MPa以下(*大19.6MPa)
调节压力
Max：0.8MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa）
原始压力波动
进气压力：0.1MPa ，调节压力变化0.001MPa
耐压压力
22.2MPa（入口侧）
CV值
0.11
工作温度
-10~+40℃
外部泄漏
1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法）
内部容积
32.3cm（不包括 3 个压力表和配件）
质量
约4.7kg
Email：wh@iwase365.com
电话：027-81622688 传真：027-81620688 地址：湖北省武汉市洪山区滨江万科中心写字楼902室
Email：wh@iwase365.com 网址：http://www.whiwase.com.cn
鄂公网安备 42018502002758号
