YUTAKA CROWN 高压大流量压力调节器L61SS-CO
特点：
该L61系列产品专为高压高流量半导体工艺制造气体设计，调节阀结构为平坦密封，确保以小行程实现大流量。
产品规格：
进气压力
14.8MPa以下(*大19.6MPa)
调节压力
Max：0.8MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa）
原始压力波动
进气压力：0.01MPa ，调节压力变化0.0006MPa
耐压压力
22.2MPa（入口侧）
CV值
0.07
工作温度
-10~+40℃
外部泄漏
1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法）
内部容积
32.3cm（不包括 3 个压力表和配件）
质量
约4.7kg
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