YUTAKA CROWN 高压标准流量型压力调节器L20系列
特点：
该L20系列产品专为高压半导体工艺制造气体设计，基本结构为外部金属密封和焊接接头规范，具有优异的外部泄漏性和颗粒性能。
它还提供多种高纯度气体的选择，非常适合气缸柜。
产品规格：
进气压力
14.8MPa以下(*大19.6MPa)
调节压力
Max：0.99MPa（量程规格：0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.99MPa）
原始压力波动
进气压力：0.00021MPa/0.1MPa ，调节压力变化<>.<>MPa
耐压压力
22.2MPa（入口侧）
CV值
0.09
工作温度
-10~+40℃
外部泄漏
1×10-11Pa・m3/sec・He（真空法）
内部容积
4.67㎝（3个压力计、接头）
质量
约1.29kg
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