KONSEI近藤 纸页型晶片卡爪 WHF系列
可根据用户的需求规格设计并定制,相关事项请另行咨询。因为是边缘夹具,不会与内外面接触。
■固定、搬运。
采用夹紧搬运方式,可适用于各种搬运形态。可有效地防止装置高速化导致的芯偏移现象。
■不会接触晶片内外面。
只接触边缘部分,不会担心以夹紧或吸附方式搬运时留下痕迹。
■适用于1级洁净室。
■WHF系列
设有侧臂和主叉的双侧(同步)驱动式边缘夹具。
无需洁净包装。
规格 型号 WHF-200AS WHF-300AS 搬运工件 晶片 工件尺寸 φ200 φ300 搬运方式 边缘夹具 搬运数量 1片 驱动方式 闭合方向 弹簧(夹具方式) 开启方向 弹簧(夹具方式) 工作行程 10毫米(夹7毫米钳3毫米) 抓力 2.4N〜1.9N 洁净度 FED标准类1(必需吸力) 牙叉(fork)材质 CFRP 紧固件・挡片・垫板 PEEK 主体质量 约1.2kg 约1.7kg 选项 开闭确认传感器
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