高真空での各種実験・開発・生産プロセスに対応。
■空冷式により水配管不要、保守の負担を軽減。
■場所を選ばない100V 電源。
■メインフレーム・ベースにアルミを採用、軽量化を実現。
■使いやすさを追求したコンパクト設計。
● 補助ポンプをダイアフラム型ドライ真空ポンプ、またはスクロール型ドライ真空ポンプと組み合わせてフルドライの排気系を実現可能。
● 起動・停止に要する時間が短い。
● 不意の大気導入にも強い構造のターボ分子ポンプを採用。
（注）故意に大気導入を繰返しますと故障の原因となります。
● より低コストで高真空雰囲気を得られます。
● 三方弁の切替機能により、補助ポンプのみの単独排気運転も可能。
● 保守点検が容易。
<TPS>タイプ
<DPS>タイプ
＊ 1. ターボ分子ポンプをベーキング・ガス出し後、ポンプヘッドでの値です。 ＊ 2. 起動時間は吸気口閉め切りでの値です。チャンバー容量により時間が異なります。 ＊ 3. 吸気口閉め切りでの値です。 ＊ 4. 補助ポンプとメインポンプ用として、別々の電源プラグ(2 本）があります。 ＊お客様の使い勝手・仕様に合わせて、各種オプション部品を組込みセットアップする特注バージョンも製作いたしま
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