真空设备

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产品名称: 真空设备

产品型号: DPS

产品厂商: 岩濑商事

产品文档: 无相关文档

简单介绍

真空设备 的详细介绍

支持各种高真空实验、开发和生产过程。

风冷系统无需水管，减轻了维护负担。

■100V电源，可在任何地方使用。

■主框架底座采用铝材，重量轻。

■紧凑的设计，易于使用。

●通过将辅助泵与隔膜式干式真空泵或涡旋式干式真空泵组合，可实现全干式排气系统。

●启动和关闭时间短。

●采用具有不易突然引入空气的结构的涡轮分子泵。

（注意）故意反复引入空气可能会引起故障。

●可以较低的成本获得高真空气氛。

●利用三通阀切换功能，仅使用辅助泵即可进行独立排气操作。

●维护、检查方便。

<TPS> 类型

模型	TPS-50ZA	TPS-50ZB	TPS-50ZC	TPS-220ZA	TPA-220ZB	TPS-220ZC
涡轮分子泵	50升/秒			220升/秒
辅助泵	DW-60	USW-50N	MZ-2CNT	DW-120	USW-100N	ISP-250C
极限压力	× ^10-5帕^*1		× ^10-3帕^*1	× ^10-5帕^*1		× ^10-4帕^*1
开始/停止时间	3/3分钟^*2			2.2/3.5分钟^*2
进气直径	VG-65			VG-100
所需电源（交流电）	100伏 15安
大量的	约51公斤	约55公斤	约45公斤	约56公斤	约59公斤	约70公斤
外部尺寸（宽 x 深 x 高毫米）	600×400×700	600×400×750	600×400×700	600×400×730	600×400×800	600×400×850

DPS类型

模型	DPS-2-ZA	DPS-2-ZB	DPS-3-ZA	DPS-3-ZB	DPS-4-ZA	DPS-4-ZB
油扩散泵	58升/秒		150升/秒		215升/秒
辅助泵	DW-60	USW-50N	DW-120	USW-100N	DW-120	USW-150N
极限压力	× ^10-4帕^*3
启动时间	17分钟^*2		22分钟^*2
进气直径	VF-50		VF-80		VF-100
所需电源（交流电）	100伏 15安		100V 15A x 2 ^*4
大量的	约57公斤	约60公斤	约68公斤	约70公斤	约70公斤	约80公斤
外部尺寸（宽 x 深 x 高毫米）	600×400×935		600×400×995	600×400×1095	600×400×1030	600×400×1130

*1. 涡轮分子泵烘烤脱气后，泵头处的值。
*2. 启动时间是进气口关闭时的数值。具体时间取决于腔室容量。
*3. 进气口关闭时的数值。
*4. 辅助泵和主泵的电源插头各有两个。
* 我们还生产定制版本，可根据您的需求和规格配置各种可选部件。

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