HORIBA堀场 化学药液浓度计CS-151F1
特点
使用在线样品单元实时跟进浓度信息 使用直接连接清洗系统主管路的在线样品单元实时检测浓度。 多达四种药液的多重检测 每台浓度计可测量多达四种化学药液或浓度范围。用户可单次检测多种化学药液的浓度(或不同配比的化学药液),如单槽或单晶圆清洗系统。 更高精度的样品单元类型 为保证稳定性,还提供一种样品单元类型,支持使用浓度计输出信号反馈进行控制。该浓度计还支持将化学药液浓度保持在可接受的范围内,并消除不必要的化学药液变化。 电气单元和测量单元完全分离,**安装 符合 RoHS 标准
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