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IWAKI易威/低脉动半导体气动泵

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产品名称: IWAKI易威/低脉动半导体气动泵
产品型号: FLP-60W
产品厂商: 岩濑商事
产品文档: 无相关文档

简单介绍

IWAKI易威/低脉动半导体气动泵 FLP系列，无需阻尼器即可实现低脉动，降低总体成本，适用于单晶圆工艺的负载追随性优异，可实现稳定运行。

IWAKI易威/低脉动半导体气动泵  的详细介绍

IWAKI易威/低脉动半导体气动泵 FLP系列       

产品特点：

●低脉动

●可减少空气消耗

●相位控制提高了负载波动期间的跟随性

●无需阻尼器可节省空间

IWAKI易威/低脉动半导体气动泵 FLP系列  FLP-60W       产品参数：

*大排放量注 50L/min（供气压力0.2MPa、淡水25℃）
工作液温度 5~100℃ 101~150℃ 151~180℃
*大供气压力 0.5MPa 0.4兆帕 0.3MPa
*大耗气量 464NL/分钟
*大行程数 160次/分钟
主要成分 聚四氟乙烯、聚四氟乙烯
*大转移液粘度 50毫帕·秒
连接管径 ⌀25mm × ⌀22mm（PFA管）

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