1. 单个阀门即可控制主排气和流量。它还包括一个副缸，可根据需要设置阀门的开启角度。
2. 尽管尺寸很小，但气缸在关闭时可实现推力加倍（可靠的密封），并在行程末端产生气垫效应（减轻冲击）
3. 阀体密封机构采用均匀分布的球压式密封方式，在反向压力下具有优异的可靠性。
4. 不锈钢外壳采用抛光板材真空钎焊制造，消除了内部死角，减少了气体释放。
5. 组装和检验在洁净室中进行。
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