在半导体湿法工业生产中，刻蚀、清洗、电镀等核心工序的药液浓度稳定性，直接决定晶圆良率、生产成本及生产效率，是工业制程管控的核心环节。KURABO仓纺 ChemicAlyzer Pro-2（KIS）浓度计，依托成熟近红外检测技术与严苛品控标准，精准适配工业级在线监测需求，成为半导体湿法工业产线的核心检测设备，为各类湿法工艺提供可靠的浓度管控支撑。
一、品牌底蕴：30余年技术深耕，铸就精密标杆
KURABO仓纺创立于1888年，总部位于日本大阪，是全球知名多元化精密制造企业。自1990年进军红外液体浓度检测领域，聚焦半导体等精密制造场景，依托30余年光学技术积淀与严苛品控，推出多系列设备，全球累计销量超3000台，获行业头部企业认可。公司通过ISO9001与ISO14001认证，ChemicAlyzer系列融合自研近红外分光技术、智能算法与耐腐蚀设计，代表其在该领域的先进水平，为先进制程提供可靠支撑。
二、产品核心参数
ChemicAlyzer Pro-2（KIS）是一体型在线近红外液体浓度计，专为半导体20~30°C（无冷凝）洁净室设计，采用近红外透射光谱法。针对每种被测药液选择专属波长，通过测量光线穿过液体后的吸光度变化，结合内置校准曲线，**计算出液体浓度。核心规格如下：
产品类型：近红外在线浓度计（适配半导体湿法工序）
测量原理：近红外透射法，搭载专用光学滤镜，支持多波长同步检测
测量对象：半导体湿法工序常用药液（H₂O₂、HCl、H₂SO₄、TMAH、BOE等）
测量精度：±0.1%（TMAH等关键药液），支持微量浓度波动捕捉
响应时间：≤20s，实时反馈浓度数据，无延迟
接液材质：石英（常规药液）、蓝宝石（强腐蚀药液）
安装方式：壁挂式/机架式，适配洁净车间安装
电源要求：AC 220V ±10%，50/60Hz，功率≤30W
环境适配：温度10-30℃，湿度≤80%RH，无冷凝，适配洁净车间等级
信号输出：4-20mA 模拟信号，支持PLC联动与数据上传
三、KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Pro-2（KIS）关键性能与结构优势
1、高精度与高稳定性：为每种药液优化专属测量波长，单机独立校准，机间误差极小。高分辨率可捕捉微量浓度波动，适合苛刻工艺的精密控制，设计寿命长。
2、一体化紧凑设计：测量与数据处理单元集成，尺寸W201×D340×H198mm，重约 11kg，节省空间。操作简便，接口集中于前面板，维护方便。
3、低维护成本：光学测量无需试剂，无易损件，大幅减少日常维护与耗材支出。实时数据输出，支持上下限报警与远程监控，助力工艺自动化。
4、多工况适配，通用性强：可测量半导体全湿法工序常用药液，提供石英池、蓝宝石池两种选择，适配HF等特殊药液。支持标准信号输出，可无缝对接PLC与MES系统，实现数据实时传输与远程监控，适配性优于同级。
四、在半导体湿法制程中的典型应用场景
1、晶圆清洗制程（RCA 清洗）：RCA 清洗是半导体晶圆清洗的核心工艺，包含 SPM（H₂SO₄/H₂O₂）、SC-1（NH₄OH/H₂O₂）、SC-2（HCl/H₂O₂）等关键步骤，药液浓度直接决定清洗效果。ChemicAlyzer Pro-2 可实时监测各清洗槽药液浓度，确保清洗工艺稳定性，减少晶圆表面颗粒与金属污染，提升良率。
2、光刻胶剥离制程：光刻胶剥离液（如 SPM、有机剥离液）浓度直接影响剥离效率与晶圆表面粗糙度，浓度过低导致剥离不净，过高则可能腐蚀晶圆底层薄膜。该浓度计可连续监测剥离液浓度，精准控制剥离速率，避免过剥离或剥离不全，适配 12 英寸晶圆量产线高吞吐量需求。
3、蚀刻制程（湿法刻蚀）：湿法蚀刻（如 BOE 缓冲氧化物刻蚀、金属蚀刻）中，蚀刻液（HF、NH₄F、H₃PO₄等）浓度直接决定刻蚀速率与均匀性，尤其浅沟槽隔离（STI）、金属栅极刻蚀等关键工序，对浓度精度要求极高。ChemicAlyzer Pro-2 可实时监测蚀刻液组分浓度，精准控制刻蚀速率，保障晶圆片内与片间刻蚀均匀性，减少刻蚀缺陷。
4、显影制程（TMAH 显影液）：TMAH（四甲基氢氧化铵）显影液浓度直接影响光刻图形分辨率与线宽均匀性，该浓度计通过专属近红外波长与高精度校准曲线，实现 TMAH 浓度精准监测，实时反馈浓度变化，联动温控与加药系统，确保显影工艺稳定性，提升光刻图形良率。
总结：在半导体先进制程向更小节点、更高良率迈进的趋势下，湿法制程的化学品浓度控制已成为良率提升的核心抓手。KURABO 仓纺 ChemicAlyzer Pro-2（KIS）浓度计，以近红外非接触测量、高精度、全防腐洁净适配、长期稳定四大核心优势，**解决传统监测方案的痛点，为半导体湿法清洗、蚀刻、显影等关键工艺提供实时、可靠的浓度数据支撑，助力芯片制造企业实现精密工艺控制、降低生产成本、提升产品竞争力。
Email：wh@iwase365.com
电话：027-81622688 传真：027-81620688 地址：湖北省武汉市洪山区滨江万科中心写字楼902室
Email：wh@iwase365.com 网址：http://www.whiwase.com.cn
鄂公网安备 42018502002758号
