在半导体制造、科研实验、化工生产等对真空环境有特定要求的领域,干式真空泵的选型直接影响工艺稳定性、运行成本及设备使用寿命。日本樫山工业(KASHIYAMA)作为真空技术领域的**制造商,凭借多年的技术积淀,推出NeoDry G 系列空冷式干式真空泵,在 E系列经典机型基础上实现**升级,以无油洁净、高效稳定、低噪节能、易维护等核心优势,重塑小型高精度干式真空泵的行业标准,为全球**真空应用场景提供可靠解决方案。
一、产品定位与核心设计理念
NeoDry G系列是樫山工业针对小型化、高精度、高洁净度真空需求打造的新一代空冷干式真空泵,定位为E系列的升级换代机型,主打 “无油洁净、空冷免水、静音低振、宽压通用、长效可靠” 五大核心设计理念。
1、无油洁净:全程干式无油结构,泵腔内部无任何润滑油,从根源杜绝油蒸气污染真空系统,适配半导体、光学器件、食品包装等高洁净度场景。
2、空冷免水:采用一体化空冷系统,无需外接冷却水管道与循环设备,大幅简化安装流程,降低场地要求与运行维护成本,适配实验室、小型生产线等紧凑空间。
3、静音低振:优化转子结构与传动系统,配合智能风扇控速,实现行业**的低噪音、低振动运行,改善工作环境,适配精密检测、医疗设备等对环境扰动敏感的场景。
4、宽压通用:宽电压输入设计,兼容单相 AC100-240V(50/60Hz),全球通用,无需额外变压器,适配不同国家与地区的电网环境。
5、长效可靠:核心部件采用耐磨耐腐蚀材质,非接触式转子设计无机械摩擦,配合极简结构设计,大幅延长维护周期,降低全生命周期成本。
二、核心型号与关键技术参数
NeoDry G 系列目前涵盖NeoDry7G、NeoDry15G、NeoDry30G、NeoDry36G四大核心型号,覆盖 110-600 L/min 抽气速率,0.7-5.0 Pa 极限真空度,适配不同真空需求场景。以下为核心型号关键参数对比:
三、典型应用场景:多行业覆盖,精准匹配工艺需求
1、实验室 / 分析仪器:质谱、色谱、SEM、真空镀膜、蒸馏浓缩、冻干。
2、半导体 / 面板:Load Lock 预抽、小型腔室真空、晶圆搬运、封装测试。
3、通用工业:真空包装、吸附固定、真空成型、环境测试、检漏。
4、医疗 / 制药:无菌包装、冻干、脱泡、**设备配套。
5、科研 / 高校:真空物理、材料制备、薄膜沉积、气体分析。
四、型号选型建议
小流量 / 低噪音:选7G(110L/min,45dB)
中等流量 / 通用:选15G(250L/min)
大流量 / 高真空:选30G(500L/min,0.7Pa)
超大流量 / 工业:选36G(600L/min)
结语:日本樫山工业(KASHIYAMA) NeoDry G系列干式真空泵,以无油空冷保洁净、高效低噪强性能、智能互联易维护、宽域适配多场景的核心优势,突破传统真空泵的污染、能耗、噪音痛点,成为高洁净、高稳定真空需求场景的优选设备。从实验室精密实验到工业规模化生产,NeoDry G 系列以可靠品质与技术**,助力企业提升工艺稳定性、降低运行成本、实现绿色智能生产,**干式真空泵技术新趋势。
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