住友低温泵 可提供维修保养服务SICERA® Smart KZ-08在线冷阱
产品特点：
SICERA® Smart KZ-08 在线冷阱是薄型冷阱型号
安装在腔室和涡轮分子泵之间
无需额外接口即可补充涡轮分子泵的抽水速度
出色的双逆变器技术允许在单个水冷压缩机上混合配置冷阱和低温泵，从而提高生产效率并节省能源
应用：
物**相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）
离子注入是制造半导体晶圆和其他集成电路至关重要的低温表面处理工艺
半导体专用：
智能手机和平板电脑（包括内置的加速度计和陀螺仪）
电视、蓝光播放器和视频游戏机
电脑、存储卡和 USB 闪存盘
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