住友低温泵 半导体真空泵 可提供维修服务SICERA® Smart KZ-04
产品特点：
SICERA® Smart KZ-04 原位冷阱设计特点是将冷板安装在真空室内
当水蒸气被捕获并在 100 K 下冷凝时，这可以实现可变的抽水速度
出色的双逆变器技术允许在单个水冷压缩机上混合配置冷阱和低温泵，从而提高生产效率并节省能源
应用：
物**相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）
离子注入是制造半导体晶圆和其他集成电路至关重要的低温表面处理工艺
半导体专用：
智能手机和平板电脑（包括内置的加速度计和陀螺仪）
电视、蓝光播放器和视频游戏机
电脑、存储卡和 USB 闪存盘
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