住友低温泵 半导体专用 可提供维修服务/SICERA® Smart KZ-10低温泵
产品特点：
专为 PVD 应用而设计，其出色的双变频器技术可帮助客户提高生产效率并节省能源
在正常热负荷运行条件下，*多可支持六 (6) 台低温泵与两 (2) 台压缩机配对
应用：
物**相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）
离子注入是制造半导体晶圆和其他集成电路至关重要的低温表面处理工艺
半导体专用：
智能手机和平板电脑（包括内置的加速度计和陀螺仪）
电视、蓝光播放器和视频游戏机
电脑、存储卡和 USB 闪存盘
汽车导航和**气囊传感器、医疗和通信设备、工业机器人等等
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