德国SONOSYS 兆声波清洗槽/半导体晶圆VA(不锈钢)或PVDF
在湿法工艺中有各种类型的水槽，例如VA(不锈钢)或PVDF。换能器板可通过螺栓固定或焊接安装在水槽内，然后成为水槽的一部分。在水槽设计过程中，根据换能板尺寸开缺口，然后由SONOSYS®完成*后的集成。
通常，所使用的溶剂(化学品)确定了水槽和兆声波换能板涂层的材料。欢迎你们咨询材料的选择以及集成的方法，请随时。
应用实例：
兆声波清洗系统是专门为半导体晶圆生产中的湿法工艺而开发的。主要是在SC1和SC2的清洗过程中，以及*后的冲洗，温度范围从20C至70C(*高适用于300m/12"晶圆)。
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