德国SONOSYS/单双喷嘴-兆声波发生器
兆声波喷嘴中的换能器产生一个兆声波，通过流动液体（如去离子水）传输到基板表面。兆声波能量集中在2毫米或4毫米的一个小点上。 SONOSYS®兆声波喷嘴的频率为：400kHz （新）/ 600 kHz（新）/1兆赫/2兆赫/3兆赫/4兆赫和5兆赫。
无水槽的兆声波喷嘴系统能够提供先进的非接触清洗工艺。
应用：清洗单个晶圆、掩模、LCD、基板和微机电系统（MEMS），以及光学行业中600 kHz的较大颗粒，来自医疗设备和传感器
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