在线式药液浓度计

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产品名称: 在线式药液浓度计
产品型号: ChemicAlyzer Pro-2+(KIS-P系列)
产品厂商: 岩濑商事
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简单介绍

KURABO日本仓纺ChemicAlyzer Pro-2+(KIS-P系列)是一款专为半导体产线设计的在线式药液浓度计,内置纯水校正自动管路切换阀,可自动完成校正流程;设备支持低改造导入,实现产线在线连续监测;是兼顾安装便捷性与测量稳定性的在线检测方案。


在线式药液浓度计  的详细介绍

日本仓纺(KURABO)ChemicAlyzer Pro-2+(KIS-P系列)

日本仓纺(KURABO)ChemicAlyzer Pro-2+(KIS-P系列)

产品型号:KIS-2TMAH-P-R、KIS-2H2O2-P-R 、KIS-2HF-P-R 、KIS-2H2SO4-P-R 、KIS-2HCl-P-R、KIS-2NaOH-P-R、KIS-2H3PO4-P-R、KIS-2NH4F-P-R、KIS-2HNO3-P-R、KIS-2IPA-P-R 、KIS-2CH3COOH-P-R、KIS-2C2H5OH-P-R、KIS-2H2O-P-R等

在线式药液浓度计,是一款面向半导体、精密电子制造场景开发的工艺检测设备,以稳定的测量表现与便捷的部署方式,适配连续生产制程中的药液浓度监测需求。

该设备的核心设计,围绕产线实际使用场景展开。其内置纯水校正自动管路切换阀,可按设定流程完成校正动作,减少人工干预频次,降低日常维护工作量,同时保障测量结果的稳定性,为工艺控制提供可靠的数据参考。同时,设备针对产线升级场景进行优化,支持与现有工艺系统对接,可替代同类型设备,减少管路、配线等方面的改造工作,缩短部署周期,降低产线调整对生产计划的影响。
在性能方面,ChemicAlyzer Pro-2 + 搭载仓纺自研的数据处理方式,支持在线连续测量,可实时反馈药液浓度变化情况,为工艺闭环控制提供数据支撑。设备适配 20~40℃的药液温度环境,可覆盖多数常温制程药液的使用场景,适用于半导体晶圆清洗、蚀刻,平板显示面板制程,以及精密电子元件制造等环节的药液浓度监测需求。
设备采用紧凑型设计,机身尺寸为 W270×D340×H257mm,重量约 16kg,便于在有限空间内安装部署,可嵌入机柜或设备旁,适配不同产线的布局方案。同时,设备的接口布局清晰,便于安装与调试,降低现场操作难度。
在应用领域上,该设备主要面向半导体与微电子行业,可用于晶圆制造中酸碱清洗液、蚀刻液的浓度监测,以及后道工序中再生药液的浓度管理,辅助提升生产过程的一致性。此外,也可应用于平板显示、新能源材料、光学元件制造等行业,为溶液浓度监测提供稳定支持。
整体而言,ChemicAlyzer Pro-2 + 是一款兼顾部署便捷性、运行稳定性与场景适配性的在线药液浓度计,可满足多行业连续生产制程中的溶液浓度监测需求,为工艺控制提供数据保障

应用行业

1. 半导体与微电子(核心领域)

  • 晶圆制造:抗蚀剂剥离液、蚀刻液(氧化膜 / 氮化膜)、酸碱清洗液浓度控制。

  • 后道工艺:再生药液回收浓度管理、清洗药液配比精准控制,降低废品率,提升良率

  • 平板显示(LCD/OLED):面板清洗、光刻、蚀刻工序药液浓度监测。

  • 晶体谐振器 / 电子元件:精密清洗与蚀刻药液浓度稳定控制。

2. 新能源与电池材料

  • 锂电池制造:电解液、电极浆料溶剂浓度监测,保障电池一致性与**性

  • 光伏太阳能:硅片清洗液、制绒药液浓度控制,提升光电转换效率。

3. 精细化工与食品发酵

  • 精细化工:反应釜物料浓度、萃取 / 精馏过程组分在线分析,优化反应效率,减少副产物

  • 食品饮料:清酒、醋、酱油发酵过程糖度 / 酒精度监测,稳定产品风味与品质

4. 其他行业制造

  • 光学元件:镜片研磨液、清洗液浓度控制,保证表面光洁度。

  • 医疗器械:高纯清洗药液浓度监测,符合医疗级洁净要求。

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